Flügelzellen-Vakuumpumpen - deren Hauptarbeitskörper eine Platte mit einem Exzenterrad in der Arbeitskammer ist. Die Pumpen sind so konstruiert, dass sie Luft evakuieren.
Ergänzt werden sie mit Filtern zur Ölreinigung, da Platinverschleiß und das Eindringen von Feinstaub und mechanischen Partikeln möglich sind.
